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详细内容
仪器特点
1. 快速非接触技术；
2. 经济的设计；
3. 不需要样品准备；
4. 高Z轴动态范围(27毫米)；
5. 高Z轴分辨率(*小2纳米)；
6. 粗糙或抛光表面均可测量；
7. 透明或不透明物体均可测量；
8. 大范围材料种类均可测量(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；
9. 大尺寸样品、旋转样品台及其他客户要求选配；
仪器介绍
我司代理的非接触轮廓仪使用白光及独特的彩色象差技术，粗糙度测量远优于激光技术，采样速度可达4000Hz，27毫米的Z轴动态范围确保给出测试样品的完美三维图像。彩色象差技术的优势还体现在高倾斜角度及低反射率的表面测量，因此与普通的白光干涉技术相比该仪器应用范围很广。
与系统匹配的软件包含参数设定(如扫描尺寸、线数、步进、转换台速度、数据采样速度、选择探针等)和数据后处理功能(如Abbott-Firestone曲线、快速傅立叶变换、自相关功能、三维成像、二维切片成像等)。
仪器规格
X & Y马达平台工作范围 | 150毫米(其他尺寸可按要求定做) |
Z轴范围 | 20毫米(内置手动千分尺调节工作距离，马达自动调节选配) |
数据采集速度 | 30,000数据点/秒 |
X,Y轴向速度 | 20毫米/秒 |
测量范围 | 工作距离(mm) | 轴向分辨率，精度(nm) | 斑点直径(µm) | 横向分辨率(µm) | 倾斜角度＊＊ | *小测量厚度(µm) |
20µm | 0.37 | 2, 10 | 3 | 1.5 | 48° | 12 |
130µm | 3.3 | 5, 20＊ | 2＊ | 1.1＊ | 43° | 7＊ |
300µm | 5.68 | 10, 90 | 7.4 | 3.7 | 25° | 25 |
350µm | 12.7 | 10, 60 | 7 | 3.5 | 27° | 25 |
400µm | 11 | 12, 60 | 2.6＊ | 1.3＊ | 28° | 15＊ |
1mm | 23.9 | 30, 300 | 14 6 | 6 | 24° | 23 |
1.2mm | 12.7 | 25, 200 | 4 | 2 | 27° | 25 |
3mm | 26.9 | 100, 600 | 25 | 12.5 | 12° | 220 |
3.5mm | 16.4 | 75, 400 | 8 | 4 | 22° | 60 |
10mm | 66.9 | 300, 900 | 51 | 25.5 | 12° | 425 |
12mm | 29 | 280, 900 | 16 | 8 | 14° | 200 |
24mm | 222.3 | 1500, 3000 | 100 | 50 | 5° | 1570 |
27mm | 19.6 | 600, 3000＊ | 16 | 8 | 8.6° | 590 |
2 - 100µm (干涉测量法) | 42 | 10, 100 | 20 | 10 | 7 | 2 |
＊理论数据 ＊＊倾斜角度可达到80°
仪器部分三维图像或数据
左图)
一角硬币三维形貌
右图)
纸的三维形貌
上图) 不锈钢粗糙度 上图) 陶瓷表面形貌
