湿度传感器

测量原理：

高分子电容式湿度传感器

测量范围：

露点 -60 ... +20 °C

准确度：

露点在-40 ...+20 °C范围内为±2 °C

露点在< -40 °C范围内为±4 °C

分辨率：

1 °C

单位：

°Ctd / °Ftd / ppmw / ppmv / °Ctdpr / °Ftdpr

（露点值基于大气压力和温度补偿）

校验周期：

2年

SF6气体纯度传感器

测量原理：

声速

测量范围：

0 ... 100 %

精度：

±0.5 %（基于SF6/N2气体混合物），可按要求提供SF6/CF4混合气体应用校验

分辨率：

0.1 %

SO2传感器（可选）

测量原理：

电化学SO2传感器

测量范围：

如果结合了HF传感器，则检测范围仅为0 … 10或0 … 20 ppmv。

■

0 ... 10 ppmv

■

0 ... 20 ppmv

■

0 ... 100 ppmv

■

0 ... 500 ppmv

精度：

■

±0.5 ppmv（测量范围为0 ... 10 ppmv）

■  ±1 ppmv（测量范围为0 ... 20 ppmv）

■

±3 ppmv（测量范围为0 ... 100 ppmv）

■

±5 ppmv（测量范围为0 ... 500 ppmv）

分辨率：

0.1 ppmv

允许湿度：

≤ 90 % r. h.（非冷凝）

零点漂移：

0.1 ppmv

长期稳定性：

< 1 %信号衰减/月（线性）

< 0.5 %（测量范围为0 ... 500 ppmv时）

使用寿命：

2年（安装完成后）

HF传感器（可选）

测量原理：

电化学HF传感器

测量范围：

0 ... 10 ppmv

精度：

±1 ppmv

分辨率：

0.1 ppmv

允许湿度：

≤ 90 % r. h.（非冷凝）

零点漂移：

0.1 ppmv

长期稳定性：

< 1 %信号衰减/月（线性）

使用寿命：

2年（安装完成后）