主要功能:本设备主要手动/自动搬运方式,通过对片盒化学液体浸泡、冲洗、漂洗、鼓泡、快排等方式进行处理,从而达到一个用户要求的效果。
设备型号:CSE-SC-N259

整机尺寸(参考):约1700mm(L)*1400mm(W)*2000mm(H)  (该设备非标定制)。

操作形式:手动

设备组成:该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成。

设备描述:此装置是一个手动的处理设备。

设备前上方有各阀门,工艺流程的控制按钮、指示灯、触摸屏(PROFACE/OMRON)等,操作方便。

主体材料:德国进口10mmPP板,优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐，

台面板为德国10mmPP板。

DIW管辂及构件采用日本进口clean-PVC管材,需满足18MW去离子水水质要求，

采用标准生产加工,焊接组装均在万级净化间内完成。

排风:位于机台后上部。

工作照明:上方防酸照明。

安全考虑:1）设有EMO(急停装置)       2强电弱点隔离     3所有电磁阀均高于工作槽体工作液面

      4设备排风口加负压检测表      5设备三层防漏、,漏盘倾斜、漏液报警、设备整体置于防漏托盘内设备制造：江苏英思特半导体科技有限公司