优质供应
详细内容
主体构造特点
设备包括 ：设备主体、电气控制部分、显影清洗槽等，并提供与厂务供电、供气、供水、排废水、排气系统配 套的接口等。
主体 ： 设备主体使用德国劳士林10mm瓷白PP
骨架 ： SUS304+PP德国劳士领板组合而成
安全门： 设备安装高透明PVC上下推拉安全门，分隔与保护人员安全，边缘处设备密封条
工艺槽： 模组化设计，放置在同一个承漏底盘中，底盘采用满焊接工艺加工而成，杜绝机台的渗漏危险
管路系统： 位于设备下部，所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明，药液管路采用劳士林PP管，纯 水管路采用积水CL-PVC管，废液可通过专用管道排放
电气保护： 电气控制、气路控制和工艺槽控制部分在机台顶部电控区，电气元件有充分的防护以免腐蚀以保障 设备性能运行稳定可靠
机台支脚 ：有滑轮装置及固定装置并加防腐座，并且有高低调整及锁定功能
安全保障 ：完善的报警和保护设计，排风压力、液位、排液均有硬件或软件互锁，直观的操作界面，清晰的 信息提示，保障了生产、工艺控制和安全性三色警示灯置于机台上方明显处
设备制造：江苏英思特半导体科技有限公司
