IKO纳米直线电机NT在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等，是具功能美的紧凑型直线电机工作台。工作台的导向部采用实现了长期免维护的C-Lube自润滑直线导轨L，有助于减少维护工时。动子采用高性能钕磁石，虽然是小型，但大推力达到了36N，可实现高速、高响应性定位。而且机械接触部分只有直线导轨，实现了高洁净度。纳米直线电机NT适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和组装装置等设备的紧凑型定位机构。



 

以下几点：

1：高推力，高节拍

通过将X轴和Z轴的电机配置于平面上，利用连杆机构动可动工作台的方式，同时实现了直线电机的高推力及可动部的轻量化，大幅缩短了动作周期。

2：高分解能，高响应性

通过在两个轴上均配置光学式线性编码器以进行全闭环控制，实现了高分解能和高响应性。

3：风冷

采用将发热线圈集中在定子上的构造，方便冷却和向安装底座散热，通过指定风冷选装件，可进步缩短动作周期。

4：无可动部电线

虽然是多轴单元，但可动部采用无电线的动磁铁方式，因此配线处理简便，可实现高洁净度。