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SPH-1型纳米结构表面检测装置

点击次数:600发布时间:2009/11/2 0:00:00

SPH-1型纳米结构表面检测装置

更新日期:1900/1/1 0:00:00

所 在 地:日本

产品型号:

简单介绍:过去很难测量1μm以下的集成电路、金属薄膜、离子注入层等的表面纳米范围内的硬度、强度、变形率等物理性质,如今用此装置可以实现。

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详细内容



● 载荷方式: 通过压力元件将压头从两边顶起
● 试验力: 2mN 分辨率 0.1μm
● 深度测定: 0~2μm 分辨率 0.1nm
● 压痕观察倍率:100,000倍以上

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  • 会员类型:免费会员
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  • 注册资金:人民币万

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