NanoFirst-4000型STM纳米刻蚀系统是一种利用普通STM铂铱探针在接近被作用样品1nm以下时进行瞬间高压电脉冲刻蚀的成像控制系统，同时兼备NanoFirst-1000扫描隧道显微镜的所有功能。它能对介质表面直接进行微米至纳米级的加工，蚀刻范围从一百微米到零点几纳米。蚀刻路径以失量方式任意编辑。系统能智能识别失量轨迹，并自动选择相应算法和刻蚀方式。刻蚀完成后可对刻蚀结果直接观测，测量区域深度、坡度、粗糙度等多种物理量。