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无尘烤箱规格表
| 型号Model | ALPO-2 | ALPO-3 | ALPO-6 |
| 内箱尺寸Internal dimensions.W×H×D（mm） | 600×500×600 | 600×500×900 | 1200×700×1000 |
| 外箱尺寸External dimensions.W×H×D（mm） | 1060×1240×1550 | 1060×1240×1850 | 2010×1010×1800 |
| 升温时间（空载）Heating up time （ no load ） | Room Temp～300℃:40min | Room Temp～300℃:40min | Room Temp～300℃:60min |
| 温度范围Temp. Range | +60～200℃（300℃） | ||
| 温度系统Temperature system | Input:CA Sensor Output:S.S.R | ||
| 温度均匀度Temperature uniformity | 1.5%（空载测试） | ||
| 进气量Air inlet | N2或Clean Air MAX:251/min | ||
| 进气口Air inlet | ∮6mm | ||
| 排气口Exhaust port | ∮5”自动风门 | ||
| 洁净度Cleanliness | Class 100#,FED-STD-209E洁净标准 | ||
| 内箱材质Internal material | SUS#304镜面不锈钢 | ||
| 外箱材质External material | SS#41钢板经防锈处理后高温粉体烤漆 | ||
| 电热Electrothermal | （SHEATHED HEATER）无尘化电热发生器 | ||
| 附件Other Components | HEPA Filter、压差计、流量计 | ||
| 电力KW | 7.5 | 10 | 34 |
