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J51600/ZF6英寸砂轮划片机主要技术参数

晶片加工尺寸：6〞 刀片尺寸：Ф５0～Ф76.2mm

Y轴：

1．行程：160mm

2．*小步进设定：0.0002mm

3．单步步进精度：0.005.

4．累积步进精度：0.008mm/160mm

X轴：

1．行程：260mm

2．进给速度：0.1～400mm/sec

Z轴：

1．行程：30mm

2．*小步进设定：0.001mm

θ轴：

1．旋转范围：0～380°

2．重复定位精度：±10"

主轴：

1．旋转范围：3，000～40，000r/min

2．功率：750W ＊

对准系统：双物镜显微镜、CCD对准＊

监视器：彩色显示器＊

设备外形：740X1000X1260

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