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1）氨分解制氢纯化装置，温度自动控制。
1在一定条件下，将氨进行分解，可以得到含75%H2、25N2的氢氮混合气体:
用此法制得的气体是一种良好的保护气体，可以广泛地应用于半导体工业、冶金工业，以及需要保护气氛的工业和科学研究中。
2）氨分解制氢升压设备
将氨分解氢氮混合气体，经压缩机升压，加到氮气纯化装置，配气装置中。
3）空气压缩机、冷冻干燥机、高精密过滤器
来自空气压缩机的压缩空气，首入冷干机脱除水分，高精密过滤器除油份。
4) 变压吸附制氮机
制氮机采用气体分离工艺将空气中的氮气和氧气，采用分离方式制取氮气。
5） 氮气纯化装置
以空分氮气为原料，通过催化除氧，冷却、分子筛吸附剂进行变温吸附，纯化干燥气体。以及过滤除尘，可以除去氮气中杂质氧，水汽和尘埃颗粒等，获得高纯氮气。该装置为复式流程，在一只吸附干燥器工作的同时，另一只吸附干燥器可以进行再生处理
6） 配气装置
以含氢75%、氮25%的氢氮混合气为原料，通过调节阀调节，加入纯氮气中，获得稳定的具有一定比例的氢氮混合气。
