罗茨滑阀真空机组为普通ZJ型或ZJP型带旁通阀罗茨真空泵，由于ZJ型或ZJP型罗茨真空泵须在系统被前级滑阀真空泵抽到罗茨真空泵允许起动压力后才可起动罗茨真空泵工作。因此，一般在机组进气口处须安装一个电接点真空表，以此来控制罗茨真空泵的启动压力和工作压力范围。即当前级H-150D滑阀真空泵起动后开始对系统进行预抽,当系统压力即罗茨真空泵进气口压力达到预先设定好的电接点压力表绿针所指值（即罗茨泵的允许起动压力值）时，罗茨真空泵就可起动工作。如果在机组各泵已处于正常工作情况下，由于发生特殊情况当罗茨真空泵进气口压力高于电接点压力表上绿针所指值时，罗茨真空泵即会自动停泵，这样就可实现罗茨真泵的自动过载保护，从而可以避免因过载和发热而导致泵发生故障。

本型号罗茨滑阀真空机组配用的前级滑阀真空泵泵，系引进国外技术而创新开发的H-150D型单级双缸滑阀真空泵。该产品为目前国内同类产品的水平，主要表现在振动低、噪声小、在大气至100pa入口压力时的抽气效率高；由于采用高压油泵进行强制润滑，即使在很高的入口压力甚至在大气压下长期运行，也能保证滑阀真空泵具有可靠的工作性能，这是国内其它同类产品不具备的特性。由于H-150D型单级滑阀真空泵的诸多优点，从而保证了机组在大气压力至10pa入口压力具有良好的抽气效率。
本系列罗茨滑阀真空机组，为了防止前级滑阀真空泵因停机后可能出现的返油。在前级滑阀真空泵与罗茨真空泵的连接管道上应安装电磁充气阀，其动作与滑阀真空泵的联动即启动滑阀真空泵时电磁阀关闭，停止滑阀真空泵时电磁阀打开对系统充气。

注:1,机组的极限压力是指用麦氏真空计测得的空气分压力值,用热偶真空计测得的全压力值应比极限压力小半个到一个数量级