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半导体电阻率测试仪进行测量并采集测试数据,把采集到的数据在计算机中加以分析,然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看,还可以把采集到的数据输出到Excel中,让用户对数据进行各种数据分析
半导体电阻率测试仪主要技术指标:
电源:220V交流
可测晶片直径(最大)Ф100mm,方形230×220mm
恒流源:电流量程为0.01~1mA连续可调,误差≦±0.5%。
数字电压表:量程:0.1~200mV,最大分辨率:100μV
电阻率显示:三位半数字显示:小数点、极性、过载、自动显示0.01-199.99欧姆。厘米
输入抗阻:0.2mV和2mV量程:>108Ω
测量精度:±0.1。
最大电阻测量误差(按JJG508-87进行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%读数±2个字。
重掺检测误差(JJG508-87进行):1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
测量环境:温度23±2℃,相对湿度≤65%
半导体电阻率测试仪将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换,在计算机控制下进行两次电测量,能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。半导体电阻率测试仪因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正,因此显著降低了几何因素影响,从而提高了测量结果的准确度。所有这些,用目前大量使用的常规四探针测量方法所生产的仪器是无法实现的。
半导体电阻率测试仪组成及特点:测试台为探头、加压机构、粉末标准容器、压力检测、厚度检测等单元组成。半导体电阻率测试仪压力机构采用手动操作,压力平稳可调,电子数码显示压力值。本仪器可一边加压同步测试,可方便测试不同压力下粉末的导电性能曲线,也可以单独作为粉末压制成片的工具使用,成片后可脱模取出,用普通四探针法测试相关参数。
资料出处:半导体电阻率测试仪http://www.chem17.com/st262489
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