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Mini Probe Station
| 型号 | MPS-4 | MPS-6 | |
| 台
体 | 尺寸 | 4英寸 | 6英寸 |
| 水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 | ||
| X-Y移动行程 | 2英寸*3英寸 | ||
| X-Y移动精度 | 10微米 | ||
| 样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 | ||
| 针座平台 | 左右各一个针座平台，最多可放置6个探针座 | ||
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 | ||
| 显 微 镜 | 显微镜类型 | 单筒显微镜/体视显微镜 | |
| 放大倍率 | 16X-200X | ||
| 移动行程 | 水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm | ||
| 光源 | 外置LED无极调节亮度环形光源 | ||
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 | ||
| 探 针 座 | X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm | |
| 移动精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 | ||
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | ||
| 探 针 夹 具 | 线缆 | 同轴线/三轴线 | |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA | ||
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 | ||
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 | ||
| 探 针 | 针尖直径 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 | |
| 材质 | 钨钢/铍铜 | ||
| 外形 | 400mm长*380mm宽*500mm高 | ||
| 重量 | 约20千克 | ||
| 可选附件 | 加热台 | 屏蔽箱 | |
| 显示器 | 光学平台 | ||
| 转接头 | 镀金卡盘 | ||
| 射频测试配件 | 光电测试配件 | ||
| 根据客户要求定制 | |||
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