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标题方块电阻测试仪可靠性研究

   

提供者:广州市盈翔嘉仪器仪表有限公司    发布时间:2014/10/27   阅读次数:230次 >>进入该公司展台

方块电阻测试仪可靠性研究 

随着溅射技术、靶材技术的发展深入和成熟,使以氧化铟锡透明导电玻璃(ITO玻璃)为代表的导电薄膜材料的制造和应用越来越广泛。ITO玻璃目前是与液晶显示等平面显示技术配套的关键组件。从1987年起至今,ITO玻璃的制造在国内已有二十年的历史。产品已广泛用于电子手表、计算器、游戏机、移动电话、电脑显示器、平面电视等消费类产品,以及各种光电仪器设备和科学实验中的透明导电电极等。现在,国内已有ITO玻璃生产企业的单位年生产能力由60万片提高到了2000万片。产品也从TN型ITO玻璃,延伸到STN型、触摸屏、彩色滤光片众多品种。

     面对越来越大量的导电薄膜材料的生产制造,如何保证产品的质量?除了要求生产企业的生产线稳定性不断提高,检测技术在此也提供了强有力的支撑作用。
     ITO玻璃的产品质量检测包括以下几个方面:尺寸、面电阻、蚀刻性能、ITO膜层耐碱性、光电性能和可靠性等。除尺寸方面的检测仅与玻璃原片有关外,其余几个方面都与ITO玻璃生产的工艺过程有关。由于国内大多数ITO玻璃生产企业自己不生产玻璃原片,所以,与生产企业有关的ITO玻璃产品质量参数就是:面电阻、蚀刻性能、ITO膜层耐碱性、光电性能和可靠性等。
     实际上,在ITO玻璃的生产过程中,检测最多的参数是ITO玻璃的面电阻。根据在不同岗位的检测需要,生产企业分别使用手提式和台式两种面电阻测量仪。而手提式面电阻测量仪相对使用较多。
 

方块电阻测试仪ST-21 是四探针方块电阻测试仪中的新一代产品,是一种依照类似国家标准和美国A.S.T.M标准而设计,专门测量半导体方块电阻(或称薄屋电阻、面电阻,单位Ω/□)的新型仪器。可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(如ITO透明导电氧化膜)……等同类物质的薄层电阻。


方块电阻测试仪的详细介绍

方块电阻测试仪ST-21


该仪器以大规模集成电路为主要核心;用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源;带回路有效正常指示电路;并配以大型LCD显示读数,使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。

特 点
* 采用九十年代推出的大规模集成电路作为仪器的主要部分,测量准确稳定;
* 以大屏幕LCD显示读数,直观清晰;
* 采用单个干电池供电,带电池欠压指示;
* 体积≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g;
* 轻便手持式设计操作、测试简便; *.特制之手握式探笔,球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜;
* 带探头与被测物质接触良好指示(LED) 、探头带抗静电模块;
* 单电源开关,推拉式探头-主机接插件,操作极其简便;

技 术 指 标
  1. 测量范围:
 
按方块电阻量值大小分为二个量程档:
○1 1.00~199.99Ω/□;
○2 10.0~1999.9Ω/□;
  2. 恒流源:
测量过程误差:≤±0.8%;
3. 模数转换器:
量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕显示;极性,超量程均自动显示;小数点同步显示;
4. 测量不确定度:
在整个量程范围内,测量不确定度≤5%
5. 四探针头:
间距:1mm或3.8mm可选,偏差:≤2%;
针间绝缘电阻≥500MΩ;
6. 电源:9V叠层电池1节

关键词:方块电阻测试仪  四探针方块电阻测试仪  

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